DETAIL
マシナブルセラミックスの代表格
緻密で高精度の加工を実現。気孔がないため脱ガスやヘリウムの透過が少なく真空中でも極めて安定した性能を発揮します。
特長
超精密加工が可能・・・面粗さ(切削4μm 研削2μm 研磨0.01μm) 薄板厚さ30μm -273〜1000℃まで使用可能(連続使用800℃、高真空中800℃)
低脱、透過ガス性(パイレックス®より低透過)
優れた耐放射線性
優れた電気的特性・・・絶縁破壊電圧40kV/mm 体積抵抗率1016Ωcm(常温)
石英並みの低熱伝導率・・・1.46W/m℃